Reinraum-Reinigungsleistungen

Feinreinigung nach UCV-Anforderungen

Reinigungsverfahren im Reinraum

  • Ultraschall-Reinigung mittels Multischallbädern
  • Ultraschallunterstützte Zwischenund finale Tauch-Spülung (beide mit deionisiertem Wasser)
  • Manuelle Vortrocknung mit aufbereitetem Stickstoff der höchsten Reinheit; rückstandsfreie Endtrocknung
  • Trockenreinigung durch Ausheizen im Vakuumofen


Nassreinigung im Klasse-6-Reinraum: Bereits beim Einschleusen werden die Bauteile mit einem Badge zur Kennzeichnung und Dokumentierung versehen.

Multischallbad der neuen ALMA-Reinraum-Reinigung (ISO 6)

Die Trockenreinigung durch Ausheizen im Vakuumofen sorgt für hochreine Oberflächen.

Vorbereitung von Bauteilen auf den Einsatz im Ultra-Clean-Vakuum

Schon bei der Planung der ALMA-Reinräume wurde besondere Sorgfalt auf Einrichtungen, frei von organischen Substanzen und die Konzeption normgerechter Prozess-Stationen gelegt. Das Ergebnis: optimale Reinraumprozesse, die sich unterteilen in Einschleusen (ISO 7), Reinigen (ISO 6) sowie Montieren, Prüfen und Verpacken (ISO 5).

Bereits beim Einschleusen erhalten alle Bauteile einen Badge zur Identifizierung und Dokumentation. Wo benötigt, unterziehen wir die Bauteile einem Trocknungsprozess, bei der durch Desorption ein besonders hoher Reinheitsgrad der Materialoberflächen erzielt werden kann.


ALMA Vakuumschrauben zum SchleusenGereinigte Bauteile werden zur Montage in den ISO-5-Reinraum geschleust.