ALMA-Dichtungstechnologien für höchste Reinheit im Vakuum

Das zuverlässige Dichtungsprinzip: Magnetfluid-Dichtungen

Die Konstruktion der ALMA-Drehdurchführungen fokussiert auf hohe Dichtheit und große Betriebssicherheit. Unser verschleissfreies, auf Magnetfluid basierendes Dichtungsprinzip verhindert mechanischen Abrieb, so dass nicht nur eine hohe Lebensdauer, sondern auch eine hohe Reinheit der Vakuumanwendung gewährleistet ist. Der Kunde profitiert davon, da wartungsbedingte Stillstands­zeiten entfallen und seine Anlagen somit eine maximale Verfügbarkeit aufweisen.

Magnetfluiddichtungen nutzen die Reaktion von Magnetfluids auf ein angelegtes Magnetfeld aus. Prinzipiell besteht die Dichtung aus zwei Polschuhen, einem Magnet, dem Magnetfluid, einer drehenden Welle und dem Gehäuse. An der Dichtungsstelle zwischen den Polschuhen und der drehenden Welle wird das Magnetfluid durch das angelegte Magnet­feld ringförmig fixiert. Das Magnetfluid bildet dabei eine „flüssige Dichtlippe“ und dichtet hermetisch ab. Standardmäßig wird die statische Dichtungsstelle zwischen Gehäuse und den Polschuhen mittels eines Elastomer-O-Ringes abgedichtet.

Die Magnetfluid-Dichtungstechnologie für hohe Vakuumsicherheit

Hochwertiges Spezial-Magnetfluid für wartungsfreie Anwendungen

ALMA setzt exklusiv ein spezielles Magnetfluid ein, das erhebliche technische Vorteile gegenüber herkömmlichen Fluids bietet. Insbesondere bei Anwendungen mit thermischer Belastung zeichnet sich dieses Fluid durch deutlich geringere Ausgasungen aus.

Das Chart zeigt das Dampfdruckverhalten bei steigenden Temperaturen (je geringer der Dampfdruck, desto geringer das Ausgasungsverhalten des Fluids). Je nach Anwendungsparametern verbessert sich die Vakuumqualität beim Einsatz des ALMA-Fluids somit signifikant. Das Magnetfluid in unseren Drehdurchführungen basiert auf Kohlenwasserstoff und enthält ein Öl, das den niedrigsten Dampfdruck aller derzeit bekannten Kohlenwasserstoff- Öle aufweist. Der Dampfdruck bei Raumtemperatur liegt bei 4 x 10-11 mbar und steigt auf nur 7 x 10-8 mbar bei 100 °C. Dieses Fluid wird derzeit exklusiv von ALMA eingesetzt.

Neben dem Qualitätskriterium, der Reinhaltung des Vakuums, bietet das ALMA-Fluid auch wirtschaft­liche Vorteile: Die Wartungskosten sinken, da die typischen verkürzten Wartungszyklen aufgrund der Ausgasungen herkömmlicher Fluids entfallen.

Die stoffschlüssige Verbindung für UHV-Anwendungen

Leckraten werden zum Problem, wenn im Ultra­hochvakuum gearbeitet werden muss (z.B. bei der Waferbeschichtung). ALMA-Drehdurchführungen für UHV-Anwendungen sind so konstruiert, dass eine statische Dichtungsstelle entfällt, da anstelle eines Elastomer-O-Ringes eine stoffschlüssige Verbindung eingesetzt wird.

Das innovative Konstruktionsprinzip der stoffschlüssigen Verbindung

Der Polschuh ist hier stoffschlüssig mit dem Gehäuse verbunden. Bei diesem Konstruktionsprinzip tritt, anders als beim Einsatz von O-Ringen, keine Permeabilität zum Vakuum auf. Weiterer Vorteil: der Polschuh ist direkt kühlbar. Dadurch wird ein Ausheizen des Rezipienten leicht möglich.

Vorteile der ALMA-Dichtungstechnologien

  • Stoffschlüssige Verbindungstechnologie bei UHV-Drehdurchführungen
  • Spezielles ALMA-Magnetfluid für mehr Vakuumsicherheit und Wirtschaftlichkeit
  • Keine Partikelbildung
  • Absolut wartungsfrei